沈阳正压送风口接线

高效送风口结构说明：含静压箱，散流板，高效过滤器和风量调节阀。高效送风口是在改建和新建各级洁净室时，可作为终端过滤装置直接安置在洁净室顶棚等处，效率高、阻力低、重量轻，具有投资少，施工简便等

FFU在洁净室应该已经越来越广，根据洁净室空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU(风机过滤单元)循环系统。

*种形式在小规模低等级要求的洁净室设计中被广应用，对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为*主要的洁净设计方案。

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